韦德举

讲师，硕士

主要研究领域:电子气体、化工分离。从事高纯气体制备及检测，等离子体沉积，氟硅材料制备。近年来开展了四氟化硅高纯气体制备、净化研究，等离子体沉积硅膜、纳米线研究。

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代表性成果

1、The Defluorination of SiF₄on Si (1 1 1) Surfaces: a Density Functional Theory Study,silicon, 14，2022

2、管式PECVD增强气相沉积微晶硅的制备方法,申请号：CN202210094985.3

3、一种测定四氟化硅气体中杂质铅、铁、锌、铜、钙含量的方法,申请号：CN201810012347.6