来源：科技处 日期：2024-10-25 作者：王润玺 浏览量：
10月24日，工信部正式发布HG/T 6329-2024《高纯工业品四氯化钛》国家行业标准。高纯四氯化钛主要应用于半导体集成储存器的生产与制造，作为氮化钛、二氧化钛和钛金属化学气相薄膜沉积(CVD)的液相钛源材料。随着半导体产业的发展，超高纯度和低金属含量的四氯化钛需求剧增，其中对于纯度要求达到6N（99.9999%）以上。贵州理工学院分析测试中心与贵阳精一科技有限公司通过校企合作，解决了提纯和杂质检测方法，开发了纯度达到7N以上的高纯四氯化钛产品。但2023年以前均无高纯四氯化钛的国际、国家和地方标准，为了统一技术要求，促进我国高纯四氯化钛产品市场良性发展，贵州理工学院联合贵阳精一科技有限公司牵头主持了国家行业标准《高纯工业品四氯化钛》的制定。
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